[发明专利]基板搬送机器人及其末端执行器

摘要

本发明的基板搬送机器人的末端执行器具备多片叶片；叶片支撑部，其以叶片彼此的基板垂线方向的间隔为可变的方式支撑叶片；以及叶片驱动装置，其使多个叶片支撑部中的至少一者相对于其他叶片朝基板垂线方向相对地移动。叶片分别具有第一主面，其朝向基板垂线方向的一方；第二主面，其是第一主面的相反面；第一基板保持机构，其使基板保持在第一主面；以及第二基板保持机构，其使基板保持在第二主面。

主权项

一种末端执行器，是安装于基板搬送机器人的机械臂的末端执行器，其特征在于，具备：多片叶片；叶片支撑部，将与保持在所述多片叶片的至少一者的基板的主面相垂直的方向规定为基板垂线方向时，该叶片支撑部以所述多片叶片彼此的所述基板垂线方向的间隔为可变的方式支撑所述多片叶片；以及叶片驱动装置，其使所述多片叶片中的至少一者相对于其他叶片朝所述基板垂线方向相对地移动；且所述多片叶片分别具有：第一主面，其朝向所述基板垂线方向的一方；第二主面，其是所述第一主面的相反面；第一基板保持机构，其使基板保持在所述第一主面；以及第二基板保持机构，其使基板保持在所述第二主面。