[发明专利]用于通过功率供应波导中的光圈的微波旋转和阻抗偏移的通用圆柱形空腔系统

摘要

针对空腔的任何谐振模式TE_mnl或TM_mnl建立旋转微波，其中用户自由地选择模式索引m、n和l的值。旋转频率等于操作微波频率的快速旋转通过将两个微波输入端口P与Q之间的时域相位差和方位角Δθ设定成m、n和l的函数来完成。频率Ω_α(典型地1～1000Hz)的慢速旋转通过将正交输入系中的双场输入α cosΩ_αt和+α sinΩ_αt变换成由两个微波端口P与Q之间的角度Δθ界定的斜角系来建立。

主权项

1.一种在等离子体反应器的圆柱形微波空腔中生成模式TE_mnl或TM_mnl的旋转微波的方法，其中m、n和l是TE模式或TM模式的用户选择的值，在所述等离子体反应器中包含覆盖在工件处理腔室上的所述圆柱形微波空腔，以及在所述圆柱形微波空腔的侧壁中的第一输入端口P和第二输入端口Q，所述第一输入端口P和所述第二输入端口Q间隔开偏移角Δθ，所述方法包含以下步骤：通过所述第一输入端口和所述第二输入端口中相应的一个将分开时域相位差ΔΦ的相应微波信号引入所述圆柱形微波空腔中；将所述偏移角Δθ和所述时域相位差ΔΦ的值调整至作为所述用户选择的TE模式或TM模式索引m、n和l中的至少两个的函数的值，以便在所述圆柱形微波空腔中生成模式TE_mnl或TM_mnl的旋转微波。