[发明专利]用于离子源的集成提取电极操纵器有效
| 申请号： | 201680020055.6 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107430968B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 伯·范德伯格;约瑟夫·瓦林斯基;迈克尔·克里斯托福罗 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 模块化离子源和提取设备200包括选择性地电连接到电压电位的离子源室202，其中离子源室包括提取孔203。提取电极206位于靠近离子源室的提取孔的位置，其中提取电极被配置为从离子源室提取离子，并且可以电接地。一个或多个连杆208可操作地连接到离子源室，并且一个或多个绝缘体210将提取电极连接到相应的一个或多个连杆，其中一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与提取电极电绝缘，其中提取电极与离子源室电绝缘。一个或多个致动器212、218、220可操作地将一个或多个连杆连接到离子源室，其中一个或多个致动器被配置成使一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中使提取电极在一个或多个轴线上平移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 集成 提取 电极 操纵 | ||
【主权项】：
一种模块化离子源和提取设备，包括：离子源室，选择性地电连接到电压电位，其中所述离子源室包括提取孔；提取电极系统，定位成靠近所述离子源室的提取孔的提取电极系统，其中所述提取电极系统被配置为经由一个或多个提取电极从所述离子源室提取离子；一个或多个连杆，可操作地连接到所述离子源室；一个或多个绝缘体，将所述提取电极系统连接到相应的一个或多个连杆，其中所述一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与所述提取电极系统电绝缘，其中使所述提取电极系统与所述离子源室电绝缘；以及一个或多个致动器，可操作的将所述一个或多个连杆连接到所述离子源室，其中所述一个或多个致动器被配置为使所述一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中所述提取电极沿着一个或多个轴线平移。
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