[发明专利]用于托持、定位和移动物体的装置有效

专利信息
申请号: 201680020772.9 申请日: 2016-04-01
公开(公告)号: CN107567654B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: C·克莱森;克里斯蒂安·埃曼 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;F16C32/04
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置,所述装置具有:‑基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50),‑至少一个磁性轴承(10、100、200),用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh),其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50),‑至少一个驱动器(40、140),所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间,以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移,‑其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和一个定子(43、143)的线性电动机(38),将所述滑块和所述定子布置在所述基座(30)和所述载体(50)上,并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外,所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G),所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。
搜索关键词: 用于 定位 移动 物体 装置
【主权项】:
一种用于托持、定位和/或移动物体(52)的装置,所述装置具有‑基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50),‑至少一个磁性轴承(10、100、200),用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh),其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50),‑至少一个驱动器(40、140),所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间,以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移,‑其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和一个定子(43、143)的线性电动机(38),将所述滑块和所述定子布置在所述基座(30)和所述载体(50)上,并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外,所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G),所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。
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