[发明专利]用于托持、定位和移动物体的装置有效
申请号: | 201680020772.9 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN107567654B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | C·克莱森;克里斯蒂安·埃曼 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;F16C32/04 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置,所述装置具有:‑基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50),‑至少一个磁性轴承(10、100、200),用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh),其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50),‑至少一个驱动器(40、140),所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间,以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移,‑其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和一个定子(43、143)的线性电动机(38),将所述滑块和所述定子布置在所述基座(30)和所述载体(50)上,并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外,所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G),所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。 | ||
搜索关键词: | 用于 定位 移动 物体 装置 | ||
【主权项】:
一种用于托持、定位和/或移动物体(52)的装置,所述装置具有‑基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50),‑至少一个磁性轴承(10、100、200),用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh),其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50),‑至少一个驱动器(40、140),所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间,以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移,‑其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和一个定子(43、143)的线性电动机(38),将所述滑块和所述定子布置在所述基座(30)和所述载体(50)上,并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外,所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G),所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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