[发明专利]具有改善的蓝宝石移除速率和表面粗糙度的基于金刚石的浆料在审
| 申请号： | 201680021319.X | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107438647A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | P.潘迪;B.瑞斯;M.怀特 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 宋莉,孙梵 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了化学机械抛光组合物以及对蓝宝石基材进行化学机械抛光的方法。所述组合物包含金刚石研磨剂和pH调节剂。所述方法涉及使所述基材与抛光垫及所述化学机械抛光组合物接触，相对于所述基材移动所述抛光垫和所述抛光组合物，以及，磨除所述基材的至少一部分以抛光所述基材。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改善 蓝宝石 速率 表面 粗糙 基于 金刚石 浆料 | ||
【主权项】：
化学机械抛光组合物，包含：(a)金刚石研磨剂；(b)pH调节化合物；(c)任选地，抛光添加剂；以及(d)液体介质，包含水、能够溶于水的有机化合物、或者其组合。
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