[发明专利]用于腔室清洁终点的原位蚀刻速率确定有效
| 申请号： | 201680021498.7 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN107466420B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | S·巴蒂亚;A·M·帕特尔;A·A·哈贾 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;金红莲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文所述的实施例涉及用于确定清洁终点的方法。可在清洁腔室环境中执行第一等离子体清洁工艺，以确定由第一斜率所限定的清洁时间函数。可在非清洁腔室环境中执行第二等离子体清洁工艺，以确定由第二斜率所限定的清洁时间函数。可比较第一及第二斜率以确定清洁终点时间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 终点 原位 蚀刻 速率 确定 | ||
【主权项】：
1.一种终点检测的方法，包含以下步骤：在清洁腔室环境中执行第一等离子体清洁工艺；在所述第一等离子体清洁工艺期间，以两个或更多时间间隔确定第一蚀刻速率；确定通过所述两个或更多时间间隔所限定的第一斜率，其中所述第一斜率有关于时间限定所述第一蚀刻速率；在非清洁腔室环境中执行第二等离子体清洁工艺；在所述第二等离子体清洁工艺期间，以两个或更多时间间隔确定第二蚀刻速率；确定由所述两个或更多时间间隔所限定的第二斜率，其中所述第二斜率有关于时间限定所述第二蚀刻速率；及比较所述第一斜率与所述第二斜率，以确定清洁终点时间。
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