[发明专利]导电图案形成部件的制造方法有效
申请号: | 201680021542.4 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN107430336B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 水口创;河野友孝 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08F220/06;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/20;G03F7/40;G06F3/041 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;焦成美 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供导电图案形成部件的制造方法,能够抑制未曝光部的溶解除去时残渣的产生,并且形成于基材上的导电图案与感光性树脂层之间的耐离子迁移性优异。导电图案形成部件的制造方法具有如下工序:涂布工序,在形成于基材上的由具有羧基的树脂(a)形成的层A的表面以及透明电极层B的表面涂布组合物C从而得到涂布膜C,所述组合物C含有导电性粒子及具有双键和羧基的树脂(c);干燥工序,将涂布膜C干燥得到干燥膜C;曝光工序,将干燥膜C曝光得到曝光膜C;显影工序,将曝光膜C显影得到图案C;和,固化工序,将图案C固化得到导电图案C,其中,粒径0.3~2.0μm的粒子在导电性粒子中所占的比例为80%以上。 | ||
搜索关键词: | 导电 图案 形成 部件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.导电图案形成部件的制造方法,其具有如下工序:涂布工序,在形成于基材上的由具有羧基的树脂(a)形成的层A的表面以及透明电极层B的表面涂布组合物C,得到涂布膜C,所述组合物C含有导电性粒子及具有双键和羧基的树脂(c),干燥工序,将所述涂布膜C干燥,得到干燥膜C,曝光工序,将所述干燥膜C曝光,得到曝光膜C,显影工序,将所述曝光膜C显影,得到图案C,和固化工序,将所述图案C固化,得到导电图案C,其中,粒径0.3~2.0μm的粒子在所述导电性粒子中所占的比例为80%以上,所述由具有羧基的树脂(a)形成的层A的酸值SA与所述导电图案C的有机成分酸值SC之差为20~150mgKOH/g,其中,粒径0.3~2.0μm的粒子在导电性粒子中所占的比例是通过下述方式确定的:采用电子显微镜观察导电性粒子,随机选择100个导电性粒子的一次粒子,测定各个一次粒子的最大宽度,将最大宽度在0.3~2.0μm的范围内的一次粒子的比例确定为粒径0.3~2.0μm的粒子在导电性粒子中所占的比例。
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