[发明专利]具有以直接上转换对微波场的旋转频率进行的数字控制的等离子体反应器有效
| 申请号： | 201680023217.1 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107533946B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 小林悟;菅井英夫;S·朴;K·拉马斯瓦米;D·卢博米尔斯基 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于处理工件的等离子体反应器具有微波源与用户接口，微波源具有使用直接数字上转换的数字同步的旋转频率，用户接口用于控制该旋转频率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 接上 转换 微波 旋转 频率 进行 数字控制 等离子体 反应器 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应器，包括：圆柱形微波腔，所述圆柱形微波腔在工件处理腔室之上，及所述圆柱形微波腔的侧壁中的第一与第二耦接孔以一角度分隔开；微波源，所述微波源具有微波频率且包括微波控制器，所述微波控制器具有耦接至所述第一与第二耦接孔中的相应耦接孔的相应的微波输出，所述微波控制器的各者包含：(a)第一与第二数字调制信号的源，所述第一与第二数字调制信号具有对应于慢速旋转频率的频率；(b)第一数字载波信号的源，所述第一数字载波信号具有中频；(c)乘法器级，所述乘法器级包含一对乘法器，该对乘法器中的各个乘法器具有一对输入，所述乘法器级经耦接以分别接收(a)所述第一数字调制信号、所述第二数字调制信号与所述第一数字载波信号，所述乘法器级具有相应的输出in1与in2；(d)数字转模拟转换器，所述数字转模拟转换器经耦接以接收所述相应的输出in1与in2且具有对应于所述输出in1与in2的模拟输出；及上转换器，所述上转换器具有与所述模拟输出耦接的输入，所述上转换器包含所述微波输出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680023217.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
