[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201680024064.2 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN107636474B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 夸梅·安蓬萨 | 申请（专利权）人： | 沙朗特有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q60/04 | 分类号： | G01Q60/04;G01Q60/30;G01Q70/06;G01Q10/04;G01Q20/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;王朝辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于使用多集成尖端扫描探针显微镜检查来表征样本的装置和系统。多集成尖端(MiT)探针由定位到彼此nm内的两个或更多个整体集成的且可移动的AFM尖端组成，使得能够在真空或周围条件下进行前所未有的微尺度到纳米尺度的探针功能。尖端结构与电容式梳状结构组合，提供无激光、高分辨率、电接入、电断开致动和感测能力以及用于信号放大和降噪操作的与结型场效应晶体管的新颖集成。基于使用支撑齿轮：激光器、纳米定位器和电子器件的堆叠而功能化的多个单个尖端，该“片上平台”方法相对于当前技术来说是典范转移。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 尖端 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
一种扫描探针适配器，包括：探针头部，所述探针头部具有至少一个探针尖端；以及光学显微镜，所述光学显微镜被构造成相对于样本查看所述探针头部。
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