[发明专利]用于制造纳电子机械系统探针的系统和方法在审
| 申请号： | 201680024285.X | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN107636475A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 夸梅·安蓬萨 | 申请（专利权）人： | 沙朗特有限责任公司 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30;G01Q70/14;G01Q70/06;G01Q70/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 王小衡,王朝辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于制造用于扫描探针显微镜检查的多个集成尖端探针的系统和方法。根据实施例，一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，该显微镜探针包括可移动探针尖端，其包括端子探针端；第一致动器，其被构造成使可移动探针尖端沿着第一轴移置；以及检测组件，其被构造成响应于施加的信号来检测可移动探针尖端的运动；其中可移动探针尖端包括贴附到支撑层的金属层，该金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 电子机械 系统 探针 方法 | ||
【主权项】：
一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，所述显微镜探针包括：包括端子探针端的可移动探针尖端，其中所述可移动探针尖端包括贴附到支撑层的金属层，所述金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。
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