[发明专利]光瞳分面反射镜有效
| 申请号： | 201680024997.1 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107567598B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | T.费希尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的为改善投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。本发明的本质是形成具有不同尺寸的光瞳分面(29)的光瞳分面反射镜。光瞳分面(29)尤其还可具有不同形式。光瞳分面的至少一子集可具有规则形式。它们尤其具有不同长度的侧边缘。它们可尤其具有不规则多边形的形式。 | ||
| 搜索关键词： | 光瞳分面 反射 | ||
【主权项】：
一种投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)的光瞳分面反射镜(20)，包含：1.1多个反射镜元件(29)，具有多边形单独反射表面(33)；1.2所述单独反射表面(33)中的至少两个单独反射表面具有不同的形式和/或尺寸；以及1.3所述反射镜元件(29)的至少一子集具有不规则形式。
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