[发明专利]三维测量装置有效
| 申请号： | 201680025227.9 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107532890B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 大山刚;坂井田宪彦;二村伊久雄;石垣裕之 | 申请（专利权）人： | CKD株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;H01L21/60;H05K3/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 金美莲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供三维测量装置，能够在利用相移法进行三维测量时提高便利性和普遍性。基板检查装置(1)包括向印刷基板(2)照射光图案的照明装置(4)、以及拍摄该印刷基板(2)的相机(5)。基板检查装置(1)构成为能够切换成：在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第一拍摄模式；在获取相位不同的三组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第二拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的第三拍摄模式；在获取相位不同的四组图像数据时，在相同相位的光图案之下分两次进行拍摄的第四拍摄模式。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，所述图像获取单元获取相位不同的多组图像时，能够在相同相位的光图案之下分多次执行拍摄，并且，能够将在该相同相位的光图案之下的拍摄方式切换成至少拍摄次数不同的多个拍摄方式。
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