[发明专利]校准尺寸测量设备的方法在审
| 申请号： | 201680025491.2 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107532893A | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 凯文·巴里·乔纳斯 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 谢攀,刘继富 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种尺寸测量设备被进一步校准以便改进该设备的初始误差映射或误差函数。在该设备(10)上测量已校准生产工件(14)，并且将测量值与校准值进行比较(44、90)以产生误差值。从这些误差值中的一些或全部与该初始误差映射或函数的全部或部分的组合中产生(46、92)一个或多个经更新的误差映射或函数。接着确定(48、94)经更新的映射或函数是否会产生更好的校正，且如果是的话，选择该经更新的映射或函数以供将来测量。通过选择基于新误差值和现有误差值的组合并且已确定会给出更好校正的误差映射或函数，在正常生产测量的过程期间智能地习得改进的映射或函数。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 尺寸 测量 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种进一步校准尺寸测量设备的方法，所述尺寸测量设备通过初始误差映射或误差函数被校准，所述方法包括：测量所述测量设备上的生产工件，所述生产工件是通过生产过程产生的第一系列标称相同工件中的一个；比较所述生产工件的测量值与从所述测量设备外部的源获得的用于所述生产工件的校准值，以产生一个或多个误差值；确定一个或多个经更新的误差映射或误差函数，所述经更新的误差映射或误差函数将所述误差值中的一些或全部与所述初始误差映射或所述初始误差函数中的全部或部分组合；其特征在于：确定所述经更新的误差映射或误差函数中的一个或多个是否比所述初始误差映射或误差函数更好地校正测量误差；以及如果确定误差映射或误差函数会给出更好校正，接着就选择所述误差映射或误差函数以用于校正一个或多个另外的工件的测量值。
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