[发明专利]压接型半导体装置有效

专利信息
申请号: 201680025897.0 申请日: 2016-03-25
公开(公告)号: CN107533983B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 奥田聪志;古川彰彦;池田知弘 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 金春实
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在压接型半导体装置(1)中,第2半导体芯片(15)上的第2中间电极(25)具有1个以上的第2贯通孔(28)。1个以上的第2贯通孔(28)与被筒体(50)、第1共同电极板(40)以及第2共同电极板(45)气密密封的空间(48)流体分离。由此,压接型半导体装置(1)具有高的可靠性。
搜索关键词: 压接型 半导体 装置
【主权项】:
一种压接型半导体装置,其中,具备压接型半导体元件和按压所述压接型半导体元件的按压部,所述压接型半导体元件包括:3端子型的第1半导体芯片,具有第1电极、第2电极以及第3电极;2端子型的第2半导体芯片,具有第4电极和第5电极;所述第1半导体芯片的所述第1电极上的第1中间电极;所述第2半导体芯片的所述第4电极上的第2中间电极;第1共同电极板以及第2共同电极板,夹持所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极;以及筒体,机械连接于所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板,所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板对所述第1半导体芯片、所述第2半导体芯片、所述第1中间电极以及所述第2中间电极进行气密密封,所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板一边被所述按压部向所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片按压,一边被电连接于所述第1半导体芯片以及所述第2半导体芯片,所述第2半导体芯片与所述第1半导体芯片电并联连接,所述第1中间电极具有与所述第1半导体芯片的所述第1电极对置的第1表面以及与所述第1表面相反一侧的第2表面,所述第2中间电极具有与所述第2半导体芯片的所述第4电极对置的第3表面以及与所述第3表面相反一侧的第4表面,所述第2中间电极具有贯通所述第3表面与所述第4表面之间的1个以上的第2贯通孔,所述1个以上的第2贯通孔与由所述筒体、所述第1共同电极板以及所述第2共同电极板气密密封的空间流体分离。
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