[发明专利]合成石英玻璃基板用研磨剂以及合成石英玻璃基板的研磨方法有效
| 申请号： | 201680026694.3 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107532066B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 高桥光人;野岛义弘 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其包含研磨磨料、研磨促进剂及水，所述合成石英玻璃基板用研磨剂的特征在于，前述研磨磨料是湿式氧化铈粒子，前述研磨促进剂是聚磷酸或其盐、偏磷酸或其盐、以及钨酸或其盐中的任一种。据此，提供一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其具有高研磨速度，并且能够充分减少由于研磨而产生缺陷的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 基板用 研磨剂 以及 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其包含研磨磨料、研磨促进剂及水，所述合成石英玻璃基板用研磨剂的特征在于，所述研磨磨料是湿式氧化铈粒子，所述研磨促进剂是聚磷酸或其盐、偏磷酸或其盐、以及钨酸或其盐中的任一种。
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