[发明专利]弹性波装置及其制造方法

摘要

提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。

主权项

一种弹性波装置，具备：压电基板，具有电极形成面；和IDT电极，被设置在所述压电基板的所述电极形成面上，所述IDT电极具有：被设置在所述压电基板的所述电极形成面上的紧贴层、和被设置在所述紧贴层上的主电极层，所述紧贴层具有紧贴于所述压电基板的第1层、和紧贴于所述主电极层的第2层，所述第1层具有第1侧面，所述第2层具有第2侧面，所述第1侧面、所述第2侧面的至少一部分分别相对于所述电极形成面的法线方向处于倾斜，以使得所述第2层紧贴于所述主电极层的面的面积小于所述第1层紧贴于所述压电基板的面的面积，在将所述第1侧面、所述第2侧面的处于倾斜的部分与所述电极形成面的法线方向所形成的角度分别设为所述第1侧面、所述第2侧面的倾斜角度时，所述第2侧面的所述倾斜角度小于所述第1侧面的所述倾斜角度。