[发明专利]具有材料修改的波长透明材料的激光烧蚀在审
申请号: | 201680027494.X | 申请日: | 2016-05-11 |
公开(公告)号: | CN107636879A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 吉百克·帕克;迈克尔·于-泰克·扬;秉-圣·利奥·郭;杰弗里·L·富兰克林;久·丘二 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01M10/04 | 分类号: | H01M10/04;H01M10/052;H01M6/40;H01M10/0585 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 徐金国,赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种制造电化学器件的方法可包括在金属电极上提供介电材料层;增强介电材料层中的在可见光及近紫外线范围内的光吸收,形成增强的介电材料层;和使用具有在可见光及近紫外线范围中的波长的激光在所述层的选择区域中激光烧蚀大体上所有的增强的介电材料,其中所述激光烧蚀使得金属电极大体上保持完整。在一些实施方式中,可提供经设计以在可见光及近紫外线范围内实现更高激光吸收而无需增强的层。电化学器件可包括基板;形成于基板上的有效器件层堆叠;及覆盖堆叠的封装层,所述封装层经设计以强力吸收可见光及近紫外线范围内的激光。 | ||
搜索关键词: | 具有 材料 修改 波长 透明 激光 | ||
【主权项】:
一种用于制造电化学器件的方法,包括以下步骤:在金属电极上提供介电材料的层;增强所述介电材料的层在可见光及近紫外线范围内的光吸收,形成增强的介电材料的层;和使用具有在可见光及近紫外线范围中的波长的激光在所述层的选择区域中激光烧蚀所述增强的介电材料,其中所述激光烧蚀使所述金属电极大体上保持完整。
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