[发明专利]抗蚀剂图案涂布用组合物有效
| 申请号： | 201680028092.1 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN107533302B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 柴山亘;中岛诚;志垣修平;谷口博昭;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;C08G77/26;G03F7/11;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;孙丽梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于涂布于抗蚀剂图案，利用蚀刻速度差来进行图案的反转的组合物。作为解决本发明课题的方法为一种涂布于抗蚀剂图案的组合物，其包含下述(A)成分和(B)成分，(A)成分：选自金属氧化物(a1)、多酸(a2)、多酸盐(a3)、水解性硅烷(a4)、上述水解性硅烷的水解物(a5)和上述水解性硅烷的水解缩合物(a6)中的至少1种化合物；(B)成分：水性溶剂，上述水解性硅烷(a4)为包含具有氨基的有机基团的水解性硅烷(i)、包含具有离子性官能团的有机基团的水解性硅烷(ii)、包含具有羟基的有机基团的水解性硅烷(iii)或包含具有能够转化为羟基的官能团的有机基团的水解性硅烷(iv)。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 图案 涂布用 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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