[发明专利]固态摄像元件

摘要

本技术涉及一种能抑制宽波长带的入射光的反射的固态摄像元件。所公开的是一种固态摄像元件，其中反射率调整层设置于在入射光的入射方向上由Si等组成的衬底上，并且调整在衬底上的入射光反射，所述反射率调整层由形成在衬底上的第一层和形成在第一层上的第二层构成。所述第一层由设置在衬底上的不规则结构和涂布到所述凹凸结构的凹部中并且折射率低于衬底的折射率的材料构成，并且所述第二层由折射率低于第一层的折射率的材料构成。通过使用薄膜干涉原理能减少由Si等组成的衬底上的反射。本技术能应用于固态摄像元件。

主权项

一种固态成像传感器，包括：衬底，其对于每个像素单位具有被配置为通过光电转换产生与入射光的量对应的像素信号的光电转换单元；反射率调整层，其在所述入射光相对于所述衬底的入射方向上设置在所述衬底上，并且被配置为调整所述入射光在所述衬底上的反射；以及环境介质，其设置在所述反射率调整层上，其中所述反射率调整层包括形成在所述衬底上的第一层和形成在所述第一层上的第二层，所述第一层包括设置在所述衬底上的凹凸结构和填充到所述凹凸结构的凹部中并且折射率低于所述衬底的折射率的材料，所述第二层包括折射率低于所述第一层的折射率的材料，并且所述衬底的折射率高于所述第一层的折射率，所述第一层的折射率高于所述第二层的折射率，所述第二层的折射率高于所述环境介质的折射率。