[发明专利]物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法有效
| 申请号： | 201680030014.5 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN107615169B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;吉田亮平 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G49/06;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的物体保持装置具有：保持面部(60)，其具有保持基板的保持面；管路部(50)，其具有控制保持面与基板之间的气体的管路，且载置有保持面部(60)；以及基部(60)，其载置有管路部(50)。而且，在管路部(50)中，管路沿第一方向延伸，且沿与所述第一方向交叉的第二方向配置有多个。本发明的物体保持装置能够容易地进行气体管道路径的制作和基板载置面的平面度调整，具有基部(40)的结构简单，组装和维护容易的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 器件 | ||
【主权项】：
一种物体保持装置，其特征在于，具有：保持部，其具有保持物体的保持面；气体流路部，其具有控制所述保持面与所述物体之间的气体的流路，且载置有所述保持部；以及基部，其载置有所述气体流路部，所述流路在所述气体流路部中，沿第一方向延伸，且沿与所述第一方向交叉的第二方向配置有多个。
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