[发明专利]玻璃基板及层叠基板在审
申请号: | 201680030872.X | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN107614452A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 塙优;野村周平;小野和孝;竹下畅彦;花岛圭辅;泽村茂辉 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | C03C17/38 | 分类号: | C03C17/38;C03C3/076;C03C3/078;C03C3/083;C03C3/085;C03C3/087;C03C3/089;C03C3/091;C03C27/04;H01L21/02;H01L21/301 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 苗堃,金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种在将玻璃基板和含有硅的基板贴合的工序中气泡不易进入的玻璃基板。本发明涉及一种玻璃基板,是通过与含有硅的基板层叠而形成层叠基板的玻璃基板,所述玻璃基板的翘曲为2~300μm,由所述翘曲引起的倾斜角度为0.0004~0.12°。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 层叠 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板,是通过与含有硅的基板层叠而形成层叠基板的玻璃基板,所述玻璃基板的翘曲为2~300μm,由所述翘曲引起的倾斜角度为0.0004~0.12°。
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