[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法有效
| 申请号： | 201680033829.9 | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN107615442B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 池田光平;市川典男;武富浩幸 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J63/06 | 分类号： | H01J63/06;H01J9/22;H01J63/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的紫外光产生用靶(20A)，包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21)，和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22)，以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种紫外光产生用靶，其特征在于：具备：蓝宝石基板，透射紫外光；中间层，与所述蓝宝石基板相接且在组成上含有氧原子与铝原子并透射所述紫外光；以及发光层，设置在所述中间层上，包含被添加有活化剂的含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束而产生所述紫外光。
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