[发明专利]可动反射元件和二维扫描装置有效
申请号: | 201680034196.3 | 申请日: | 2016-06-06 |
公开(公告)号: | CN107636512B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 绪方健治;坂本真弥;池田义文;黑木省吾;冈田和广;江良聪 | 申请(专利权)人: | 第一精工株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。 | ||
搜索关键词: | 反射 元件 二维 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种可动反射元件,其包括:平板状的固定框;平板状的可动框,其与所述固定框之间空出间隙地配置于所述固定框的框内;平板状的镜面部,其与所述可动框之间空出间隙地配置于所述可动框的框内,具有反射面;第1致动器部,其是具有挠性的线状的一对构件,该一对构件连结所述固定框和所述可动框,在从所述固定框的内边沿着第1方向延伸的部分形成有沿着所述第1方向伸缩的压电元件,所述一对构件分别配置于所述可动框的与所述第1方向交叉的第2方向上的两侧,利用所述压电元件的伸缩发生变形而使所述可动框以第1旋转轴为中心相对于所述固定框摆动;以及第2致动器部,其是具有挠性的线状的一对构件,该一对构件连结所述可动框和所述镜面部,在从所述可动框的内边沿着所述第2方向延伸的部分形成有沿着所述第2方向伸缩的压电元件,所述一对构件分别配置于所述镜面部的所述第1方向上的两侧,利用所述压电元件的伸缩发生变形而使所述镜面部以与所述第1旋转轴交叉的第2旋转轴为中心相对于所述可动框摆动;所述第1致动器部的沿着所述第1方向延伸的部分的长度大于从所述固定框的与所述第1致动器部连接的内边到所述可动框的沿着所述第1方向延伸的外边的中点为止的距离。
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