[发明专利]沉积钙钛矿材料的方法有效
申请号: | 201680034238.3 | 申请日: | 2016-06-10 |
公开(公告)号: | CN107743530B | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | B·A·卡米诺;L·M·佩雷斯 | 申请(专利权)人: | 牛津光伏有限公司 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12;H01L51/00;H01L51/44;H01L51/42 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;李科 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供了一种制造光伏装置的方法,所述光伏装置包括具有钙钛矿材料层的光敏区域,其中所述钙钛矿材料层设置在具有大于或等于50nm的粗糙度平均值(R |
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搜索关键词: | 沉积 钙钛矿 材料 方法 | ||
【主权项】:
一种制造光伏装置的方法,所述光伏装置包括具有钙钛矿材料层的光敏区域,其中所述钙钛矿材料层设置在具有大于或等于50nm的粗糙度平均值(Ra)或均方根粗糙度(Rrms)的表面上,所述方法包括:使用气相沉积来使包含所述钙钛矿材料的一种或多种初始前体化合物的基本上连续且共形的固体层沉积在所述粗糙表面上;以及随后,用一种或多种其他前体化合物处理包含所述一种或多种初始前体化合物的所述固体层并且从而使所述一种或多种初始前体化合物和所述一种或多种其他前体化合物进行反应以在所述粗糙表面上形成所述钙钛矿材料的基本上连续且共形的固体层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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