[发明专利]沉积钙钛矿材料的方法有效

专利信息
申请号: 201680034238.3 申请日: 2016-06-10
公开(公告)号: CN107743530B 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: B·A·卡米诺;L·M·佩雷斯 申请(专利权)人: 牛津光伏有限公司
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12;H01L51/00;H01L51/44;H01L51/42
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇;李科
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了一种制造光伏装置的方法,所述光伏装置包括具有钙钛矿材料层的光敏区域,其中所述钙钛矿材料层设置在具有大于或等于50nm的粗糙度平均值(Ra)或均方根粗糙度(Rrms)的表面上。所述方法包括使用气相沉积来使包含所述钙钛矿材料的一种或多种初始前体化合物的基本上连续且共形的固体层沉积、以及随后用一种或多种其他前体化合物处理所述固体层以在所述粗糙表面上形成所述钙钛矿材料的基本上连续且共形的固体层。还提供了包括具有使用所述方法设置的钙钛矿材料层的光敏区域的光伏装置。
搜索关键词: 沉积 钙钛矿 材料 方法
【主权项】:
一种制造光伏装置的方法,所述光伏装置包括具有钙钛矿材料层的光敏区域,其中所述钙钛矿材料层设置在具有大于或等于50nm的粗糙度平均值(Ra)或均方根粗糙度(Rrms)的表面上,所述方法包括:使用气相沉积来使包含所述钙钛矿材料的一种或多种初始前体化合物的基本上连续且共形的固体层沉积在所述粗糙表面上;以及随后,用一种或多种其他前体化合物处理包含所述一种或多种初始前体化合物的所述固体层并且从而使所述一种或多种初始前体化合物和所述一种或多种其他前体化合物进行反应以在所述粗糙表面上形成所述钙钛矿材料的基本上连续且共形的固体层。
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