[发明专利]在阻剂应用中作为光酸产生剂的磺酸衍生物化合物

摘要

本发明提供新颖光酸产生剂化合物。还提供包括所述新颖光酸产生剂化合物的组合物。本发明进一步提供制造和使用本文中所揭示的所述光酸产生剂化合物和组合物的方法。所述化合物和组合物可用作用于各种微制造应用的化学放大型阻剂组合物中的光活性组分。

主权项

一种由式(I)或式(II)表示的磺酸衍生物化合物(i)：其中可相同或不同且可连接形成脂环族或杂环基团的R1和R2独立地选自由以下各项组成的群组：氢原子；氰基；具有1至18的碳数的脂肪族、脂环族或杂环基团，其中一或多个氢原子可经卤素原子取代；具有1至18的碳数的脂肪族基团，其包含至少一个选自由‑O‑、‑S‑、‑C(＝O)‑、‑C(＝O)‑O‑、‑C(＝O)‑S‑、‑O‑C(＝O)‑O‑、‑CN、‑C(＝O)‑NH‑、‑C(＝O)‑NRa‑和‑C(＝O)‑NRaRb组成的群组的部分，其中Ra和Rb各自独立地是具有1至10的碳数的脂肪族基团，其可相同或不同且可连接形成脂环族或杂环基团，且其中所述脂肪族基团任选地包含至少一个卤素原子；和具有4至18的碳数的芳基或杂芳基，其中一或多个氢原子可经卤素原子、脂肪族基团、卤代烷基、烷氧基、卤代烷氧基、烷基硫基、双烷基氨基、酰氧基、酰硫基、酰氨基、烷氧基羰基、烷基磺酰基、烷基亚磺酰基、脂环族基团、杂环基团、芳基、烷基芳基、氰基或硝基取代；且R3选自由以下各项组成的群组：具有1至18的碳数的脂肪族、脂环族或杂环基团，其可经一或多个卤素原子取代；具有1至18的碳数的脂肪族或脂环族基团，其包含至少一个选自由‑O‑、‑S‑、‑C(＝O)、‑C(＝O)‑O‑、‑C(＝O)‑S‑、‑O‑C(＝O)‑O‑、‑CN、‑C(＝O)‑NH‑、‑O‑C(＝O)‑NH‑、‑C(＝O)‑NRa‑、‑O‑C(＝O)‑NRa‑和‑C(＝O)‑NRaRb组成的群组的部分，其中Ra和Rb如上文所定义，其中所述脂肪族基团任选地包含至少一个卤素原子；和具有4至18的碳数的芳基或杂芳基，其中一或多个氢原子可经卤素原子、脂肪族基团、卤代烷基、烷氧基、卤代烷氧基、烷基硫基、双烷基氨基、酰氧基、酰硫基、酰氨基、烷氧基羰基、烷基磺酰基、烷基亚磺酰基、脂环族基团、杂环基团、芳基、烷基芳基、氰基或硝基取代。