[发明专利]用于确定和补偿几何成像偏差的方法有效
| 申请号： | 201680034370.4 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN108012554B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫·安胡特;丹尼尔·哈泽;弗兰克·克莱姆;布克哈德·罗舍尔;丹尼尔·施威特;托拜厄斯·考夫霍德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司 11493 | 代理人： | 崔永华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：‑确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，‑产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，‑用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，‑将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，‑确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，‑将确定的位置偏离作为校正数据存储，‑通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 补偿 几何 成像 偏差 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述几何成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：确定参照物，所述参照物具有限定的平面结构，产生所述平面结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，其中将源起的物体位置一对一地对应于图像点的每个位置，将所述图像数据记录存储并提供作为参考图像数据记录，用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，其中再将源起的物体位置对应于图像点的每个位置，将实际图像数据记录与参考图像数据记录就对应于相同物体位置的图像点的位置进行比较，确定实际图像数据记录中的图像点相对于参考图像数据记录中相应的图像点的位置偏离，将确定的位置偏离作为校正数据存储，通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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