[发明专利]用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法在审
| 申请号： | 201680034644.X | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108463572A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·班格特;德烈亚斯·勒普 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于在基板(10)上沉积源材料的蒸发源(100)。所述蒸发源包括：蒸发坩埚(104)，其中所述蒸发坩埚被配置为蒸发源材料；分配单元(130)，所述分配单元具有一个或多个出口(212)，其中分配单元与蒸发坩埚流体连通，并且其中一个或多个出口被配置为用于在沉积方向(101)上将源材料提供到基板；第一冷却屏蔽布置(201)，所述第一冷却屏蔽布置设为包括一个或多个开口(221)；受热屏蔽布置(202)，所述受热屏蔽布置设于距第一冷却屏蔽布置(201)的某个距离，其中受热屏蔽布置(202)包括一个或多个孔隙(222)。第一冷却屏蔽布置(201)布置在分配单元(130)与受热屏蔽布置(202)之间，并且蒸发源(100)被配置为限定源材料在沉积方向(101)上从一个或多个出口(212)穿过一个或多个开口(221)和一个或多个孔隙(222)到基板的路径。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽 分配单元 受热 蒸发源 蒸发坩埚 冷却 基板 沉积方向 源材料 配置 开口 出口 沉积源材料 蒸发源材料 方法描述 流体连通 有机材料 沉积 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板(10)上沉积源材料的蒸发源(100)，包括：蒸发坩埚(104)，其中所述蒸发坩埚被配置为蒸发所述源材料；分配单元(130)，所述分配单元具有一个或多个出口(212)，其中所述分配单元与所述蒸发坩埚流体连通，并且其中所述一个或多个出口被配置为用于在沉积方向(101)上将所述源材料提供到所述基板；第一冷却屏蔽布置(201)，所述第一冷却屏蔽布置包括一个或多个开口(221)；和受热屏蔽布置(202)，所述受热屏蔽布置设于距所述第一冷却屏蔽布置(201)的某个距离，其中所述受热屏蔽布置(202)包括一个或多个孔隙(222)，其中所述第一冷却屏蔽布置(201)布置在所述分配单元(130)与所述受热屏蔽布置(202)之间，并且其中所述蒸发源(100)被配置为限定所述源材料在所述沉积方向(101)上从所述一个或多个出口(212)穿过所述一个或多个开口(221)和所述一个或多个孔隙(222)到所述基板的路径。
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