[发明专利]用于微机电系统静摩擦减少的硅烷改性流体在审
| 申请号： | 201680035458.8 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN107709224A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 马季;魏贤赫;尤金·菲克三世;泰勒·杜恩 | 申请（专利权）人： | 追踪有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在流体填充过程期间减少静摩擦的装置及方法。装置(400)可包含两个衬底(404,422)，其中在所述衬底中的至少一者上有可移动MEMS组件。所述装置可包含在所述两个衬底之间并环绕或至少部分环绕所述可移动MEMS组件的流体(430)，其中所述流体可充当用于所述可移动MEMS组件的润滑剂。所述流体可为掺杂有表面能改性剂的液体溶液，其中所述表面能改性剂包含非极性官能团R。在一些实施中，所述非极性官能团R可选自由以下组成的群组烷基、芳基及环烷基。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 静摩擦 减少 硅烷 改性 流体 | ||
【主权项】：
一种装置，其包括：第一衬底；第二衬底，其与所述第一衬底相对；多个可移动MEMS组件，其在所述第二衬底上方；流体，其在所述第一衬底与所述第二衬底之间并环绕所述可移动MEMS组件；及密封件，其用于结合所述第一衬底与所述第二衬底并封闭所述装置中的所述流体，其中所述流体包含表面能改性剂，所述表面能改性剂包含非极性官能团R。
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