[发明专利]有机电子元件的制造方法及基板干燥方法在审
申请号: | 201680036240.4 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN107710875A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 佐佐修一;森岛进一;赤対真人 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;F26B3/30;F26B15/12;H01L51/50;H05B33/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的一个实施方式的有机电子元件的制造方法是具有有机功能层的有机电子元件(1A)的制造方法,该制造方法具备基板干燥工序(S10),加热包含水分的塑料基板(10)而使之干燥;以及元件主体形成工序(S20),在基板干燥工序中被干燥了的塑料基板上形成包含有机功能层的元件主体(20)。在基板干燥工序中通过向塑料基板照射红外线而利用红外线加热塑料基板,在红外线的发射光谱中,第一波长范围1.2μm~5.0μm的积分值大于第二波长范围5.0μm~10.0μm的积分值。 | ||
搜索关键词: | 有机 电子元件 制造 方法 干燥 | ||
【主权项】:
一种有机电子元件的制造方法,是具有有机功能层的有机电子元件的制造方法,该制造方法具备:基板干燥工序,加热包含水分的塑料基板而使之干燥;以及元件主体形成工序,在所述基板干燥工序中被干燥了的所述塑料基板上形成包含所述有机功能层的元件主体,在所述基板干燥工序中通过向所述塑料基板照射红外线而利用所述红外线加热所述塑料基板,在所述红外线的发射光谱中,第一波长范围1.2μm~5.0μm的积分值大于第二波长范围5.0μm~10.0μm的积分值。
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