[发明专利]线锯装置以及工件的切割方法有效
| 申请号： | 201680036859.5 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN107921604B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 福田正树;沟上和贵;太田慎二 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够提供一种线锯装置以及工件的切割方法，其即使在工件切割工序的中间阶段，也能够高效地捕集飞溅的浆料而提高被切出的工件的表面质量。线锯装置具备以能够在横切作为切割对象的工件（W）的方向上行进的方式张设的至少1根线（11）、保持工件（W）并且使工件（W）相对于线（11）进行相对移动的工件保持部（12）、从线（11）的行进方向的上游侧向线（11）供给用于切割工件（W）的浆料的浆料供给部（13）以及捕集通过与工件（W）的接触而飞溅的浆料的浆料捕集部（14），浆料捕集部（14）以在与工件（W）相邻配置的状态下能够跟随工件（W）移动并且为了防止与线（11）接触而能够相对于工件（W）后退的方式构成。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 工件 切割 方法 | ||
【主权项】：
1.一种线锯装置，其具备：至少1根线，至少1根所述线以能够在横切作为切割对象的工件的方向上行进的方式张设；工件保持部，其保持所述工件，并且使所述工件相对于所述线进行相对移动；浆料供给部，其从所述线的行进方向的上游侧向所述线供给用于切割所述工件的浆料；以及浆料捕集部，其捕集通过与所述工件的接触而飞溅的所述浆料，其特征在于，所述浆料捕集部以在与所述工件相邻配置的状态下能够跟随所述工件移动并且为了防止与所述线接触而能够相对于所述工件后退的方式构成。
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