[发明专利]化学蒸镀装置及化学蒸镀方法

摘要

本发明的化学蒸镀装置具有容纳被成膜物的反应容器、设置在反应容器内的气体供给管及在反应容器内使气体供给管绕旋转轴旋转的旋转驱动装置，气体供给管的内部被划分为沿旋转轴延伸的第1气体流通部和第2气体流通部，在气体供给管的管壁设置有由沿圆周方向相邻配置的至少三个以上的气体喷出口组成的气体喷出口组，气体喷出口组包含至少一个以上的第1气体喷出口和至少一个以上的第2气体喷出口，所述第1气体喷出口使流通到第1气体流通部的第1气体喷出到反应容器内，所述第2气体喷出口使流通到第2气体流通部的第2气体喷出到反应容器内。

主权项

一种化学蒸镀装置，具有容纳被成膜物的反应容器、设置于所述反应容器内的气体供给管及在所述反应容器内使气体供给管绕旋转轴旋转的旋转驱动装置，所述气体供给管的内部被划分为沿所述旋转轴延伸的第1气体流通部和第2气体流通部，在所述气体供给管的管壁设置有由沿圆周方向相邻配置的至少三个以上的气体喷出口组成的气体喷出口组，所述气体喷出口组包含至少一个以上的第1气体喷出口和至少一个以上的第2气体喷出口，所述第1气体喷出口使流通到所述第1气体流通部的第1气体喷出到所述反应容器内，所述第2气体喷出口使流通到所述第2气体流通部的第2气体喷出到所述反应容器内。