[发明专利]前驱体组合物、感光性树脂组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件有效
| 申请号： | 201680037218.1 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107709408B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 涩谷明规;岩井悠;川端健志;小山一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/20;C08F2/44;C08F283/04;C08F290/14;C08G73/22;G03F7/023;G03F7/027 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 曹阳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种曝光宽容度宽的感光性树脂组合物、用于提供所述感光性树脂组合物的前驱体组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。一种前驱体组合物，其包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，上述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，上述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5以上。 | ||
| 搜索关键词： | 前驱 组合 感光性 树脂 制造 方法 固化 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含前驱体组合物与光自由基聚合引发剂，所述前驱体组合物包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，其中，/n所述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，/n所述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5～3.1,/n所述含有杂环的聚合物前驱体具有聚合性不饱和基团。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680037218.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
