[发明专利]超声波探头以及超声波检查装置有效
| 申请号： | 201680037346.6 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107710786B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 大野茂;住川健太;高桥卓也;柳谷隆彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立电力解决方案 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;G01N29/24;G01N29/265 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是使得能够发送200MHz以上频率的超声波的超声波探头以及超声波检查装置容易地形成。为此，构成超声波探头4的层叠压电元件40具备在下部电极42与上部电极49之间设置层叠压电体膜48而成的层叠压电元件40。层叠压电体膜48在具有相对于膜面实质上垂直方向的自发极化的ZnO膜43上直接形成有与ZnO不同且具有与ZnO相反方向的自发极化的ScAlN膜44。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 探头 以及 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波探头，其特征在于，具备在下部电极与上部电极之间设置层叠压电体膜而成的压电元件，所述层叠压电体膜中，在第1压电体层上直接形成有第2压电体层，所述第1压电体层由具有相对于膜面实质上垂直的自发极化的第1压电材料形成，所述第2压电体层由与所述第1压电材料不同且具有与所述第1压电材料相反方向的自发极化的第2压电材料构成。
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