[发明专利]溅射靶材

摘要

本发明其目的在于，提供一种具有高机械强度(特别是适于溅射靶材的高韧性)的烧结合金和含有该烧结合金而构成的溅射靶材，所提供的烧结合金中，含有如下：Mn；由Ga、Zn、Sn、Ge、Al、Co中的一种或两种以上构成的A群元素；和根据需要，由Fe、Ni、Cu、Ti、V、Cr、Si、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho中的一种或两种以上所构成的B群元素，余量是不可避免的杂质，具有满足规定的条件的第一Mn相～第六Mn相中的一种或两种以上。

主权项

1.一种烧结合金，其含有：Mn；由Ga、Zn、Sn、Ge、Al、Co中的一种或两种以上构成的A群元素；和根据需要，由Fe、Ni、Cu、Ti、V、Cr、Si、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho中的一种或两种以上构成的B群元素，且余量是不可避免的杂质，其中，所述烧结合金具有从如下Mn相构成的群中选择的一种或两种以上的Mn相：第一Mn相：以Mn:Ga＝98:2～73:27的原子个数比含有Mn和Ga，且Ga以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；第二Mn相：以Mn:Zn＝98:2～64:36的原子个数比含有Mn和Zn，且Zn以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；第三Mn相：以Mn:Sn＝98.5:1.5～74:26的原子个数比含有Mn和Sn，且Sn以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；第四Mn相：以Mn:Ge＝98.5:1.5～79:21的原子个数比含有Mn和Ge，且Ge以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；第五Mn相：以Mn:Al＝98:2～49:51的原子个数比含有Mn和Al，且Al以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；和第六Mn相：以Mn:Co＝96:4～51:49的原子个数比含有Mn和Co，且Co以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下。