[发明专利]背板、溅射靶及它们的制造方法有效
| 申请号： | 201680040289.7 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107849688B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 西冈宏司;佐藤尚也 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供能使盖构件的厚度变得均匀的背板的制造方法以及制造后的盖构件的厚度均匀的背板及包含这样的背板的溅射靶。通过本发明，可提供：背板的制造方法，所述制造方法包括将在单面具有使流体通过的槽的板状主体、与以覆盖该主体的槽的方式被配置于该主体上的板状的盖构件接合的步骤，并且，所述制造方法包括下述步骤：在将该主体与该盖构件接合而进行一体化后，使该主体与该盖构件的接合面成为上面，以在该盖构件的表面测定的高度的最大值与最小值之差小于0.5mm的方式将该主体固定，利用切削对该接合面的至少一部分进行加工；背板，其中盖构件的厚度的最大值与最小值之差为0.4mm以下；以及，溅射靶，其包含这样的背板。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 溅射 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
背板的制造方法，所述制造方法包括将在单面具有使流体通过的槽的板状主体、与以覆盖所述主体的槽的方式被配置于所述主体上的板状的盖构件接合的步骤，并且，所述制造方法包括下述步骤：在将所述主体与所述盖构件接合而进行一体化后，使所述主体与所述盖构件的接合面成为上面，以在所述盖构件的表面测定的高度的最大值与最小值之差小于0.5mm的方式将所述主体固定，利用切削对所述接合面的至少一部分进行加工。
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