[发明专利]可移动支撑件和光刻设备有效
| 申请号： | 201680040545.2 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107850852B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | A·F·J·德格鲁特;T·A·M·汝伊尔;C·L·瓦伦汀;C·维尔纳 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及配置成支撑物体的可移动支撑件(1)，包括：用于支撑物体的支撑平面(2)；致动器组件，用于在第一方向和垂直于第一方向的第二方向上移动所述可移动支撑件，其中所述第一方向和第二方向在平行于支撑平面的平面中延伸。其中所述致动器组件包括：第一致动器(3)，配置成在第一致动方向(A1)上施加第一致动力(F1)，所述第一致动方向平行于支撑平面；第二致动器(4)，配置在第二致动方向(A2)上施加第二致动力(F2)，所述第二致动方向平行于支撑平面，其中所述第一致动方向和第二致动方向布置成相对彼此不平行且不垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 支撑 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种配置成支撑物体的可移动支撑件，包括：用于支撑所述物体的支撑平面；致动器组件，用于在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述可移动支撑件，其中所述第一方向和所述第二方向在平行于所述支撑平面的平面中延伸，其中所述致动器组件包括：第一致动器，配置成在第一致动方向上施加第一致动力，所述第一致动方向平行于所述支撑平面；第二致动器，配置成在第二致动方向上施加第二致动力，所述第二致动方向平行于所述支撑平面，其中所述第一致动方向和第二致动方向布置成相对彼此不平行且不垂直。
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