[发明专利]压印用的模板制造装置及模板制造方法

摘要

有关实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：供给头(11)，向具有形成有凹凸图案的凸部的工作台上的模板(W)供给液态的疏液材料；输送部(20)，使供给头(11)及工作台在沿着工作台的方向上相对移动；控制部(40)，控制供给头(11)及输送部(20)，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少向凸部的侧面涂敷液态的疏液材料；和清洗部(30)，向涂敷有液态的疏液材料的模板(W)供给液体。液态的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分及非疏液成分和将疏液成分溶解的挥发性溶剂。上述液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

主权项

一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，具备有主面的基体和设在上述主面上的凸部，将形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案的模板支承在该凸部的端面上；供给头，对上述工作台上的上述模板供给将上述液态的被转印物弹开的液态的疏液材料；移动机构，使上述工作台及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；控制部，控制上述供给头及上述移动机构，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料；和清洗部，对涂敷有上述液态的疏液材料的上述模板供给液体；上述液态的疏液材料包含与上述模板的表面反应的疏液成分、与上述模板的表面反应的非疏液成分、和将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；上述液体是将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。