[发明专利]用于连续模式和脉冲模式操作的统一RF功率传输单输入、多输出控制

摘要

射频(RF)控制系统包括RF产生器，RF产生器具有输出RF信号的功率放大器以及控制器。匹配网络接收RF信号并且产生多个RF输出信号。匹配网络包括比率调谐元件，以改变多个RF输出信号之间的功率比率。第一控制器将比率控制信号传送至匹配网络，并且匹配网络根据比率控制信号控制比率调谐元件。RF控制系统以连续模式和脉冲模式的操作进行操作。控制器还可控制脉冲边缘的上升或下降、或脉冲边缘中的增量改变的电平或持续时间。

主权项

一种射频(RF)控制系统，包括：RF产生器，包括输出RF信号的功率放大器，所述RF产生器还包括第一控制器；用于接收所述RF信号的匹配网络，所述匹配网络产生多个RF输出信号至多个负载，所述匹配网络包括比率调谐元件，所述比率调谐元件用于改变所述多个RF输出信号中的第一RF输出信号与所述多个RF输出信号中的第二RF输出信号之间的功率比率，或者用于改变从所述多个RF输出信号中的所选择的RF输出信号获得的值；以及其中所述第一控制器将比率控制信号传送至所述匹配网络，并且所述匹配网络根据所述比率控制信号控制所述比率调谐元件。