[发明专利]线状槽形成方法及线状槽形成装置有效
| 申请号： | 201680042049.0 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107849631B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 高城重宏;上坂正宪 | 申请（专利权）人： | 杰富意钢铁株式会社 |
| 主分类号： | C21D8/12 | 分类号： | C21D8/12;B23K26/073;B23K26/364;C23F1/28;C25F3/06;H01F1/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王利波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线状槽形成方法，其是利用蚀刻在钢板表面形成线状槽的方法，该方法能够抑制用于除去抗蚀剂的激光照射所导致的取向性电磁钢板的磁特性降低，且可形成形状均匀的线状槽。该线状槽形成方法包括：抗蚀剂涂布工序，在取向性电磁钢板表面涂布抗蚀剂；激光照射工序，沿所述取向性电磁钢板的轧制方向周期性地进行激光扫描，所述激光扫描通过沿横穿所述取向性电磁钢板的轧制方向的方向进行扫描并同时照射激光，从而将照射了所述激光的部分的抗蚀剂除去；蚀刻工序，对除去了所述抗蚀剂的部分的取向性电磁钢板进行蚀刻，形成线状槽，其中，所述抗蚀剂的涂布厚度为0.5～10μm，所述激光的输出功率为1500W以上。 | ||
| 搜索关键词： | 线状 形成 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种线状槽形成方法，该方法包括：抗蚀剂涂布工序，在取向性电磁钢板表面涂布抗蚀剂；激光照射工序，沿所述取向性电磁钢板的轧制方向周期性地进行激光扫描，所述激光扫描通过沿横穿所述取向性电磁钢板的轧制方向的方向进行扫描并同时照射激光，从而将照射了所述激光的部分的抗蚀剂除去；蚀刻工序，对除去了所述抗蚀剂的部分的取向性电磁钢板进行蚀刻，形成线状槽，其中，所述抗蚀剂的涂布厚度为0.5～10μm，所述激光的输出功率为1500W以上。
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