[发明专利]用于基体的输送设备有效
| 申请号： | 201680043289.2 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN107849691B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | N.L.鲁佩辛格;G.P.贡萨尔维斯;K.B.K.特奥 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C16/54;H01L21/677;B65G49/06;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张建锋 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将带状的基体(1)传送穿过反应器(20)的设备，其中，所述基体(1)被传送元件(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)固持，这些传送元件能够通过驱动装置(15、15’)沿传送方向(V)移动，其中，传送件具有第一传送杆(3、3’、4、4’)和第二传送杆(5、5’、6、6’)，所述第一传送杆和第二传送杆在时间上交替地作用于基体(1)，其中，相应地作用于基体(1)的传送杆沿传送方向(V)移动，并且相应地没有作用于基体的传送杆沿相对于传送方向(V)相反的后退方向(R)移动。所述设备具有成对地在传送方向(V)上分别布置在反应器(20)前面和后面的传送滑座(13、13’、14、14’)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基体 输送 设备 | ||
【主权项】：
一种用于将带状的基体(1)传送穿过反应器(20)的设备，其中，所述基体(1)被传送元件(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)固持，这些传送元件能够通过驱动装置(15、15’)沿传送方向(V)移动，其中，所述传送件具有第一传送杆(3、3’、4、4’)和第二传送杆(5、5’、6、6’)，所述第一传送杆和第二传送杆在时间上交替地作用于基体(1)，其中，相应地作用于基体(1)的传送杆沿传送方向(V)移动，并且相应地没有作用于基体的传送杆沿相对于传送方向(V)相反的后退方向(R)移动，其特征在于，所述传送杆(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)具有夹紧侧面(9、9’、10、10’、11、11’、12、12’、13、13’)，用于尤其将所述基体(1)的边缘(2、2’)夹紧地固持在两个夹紧侧面之间。
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