[发明专利]用于化学机械平坦化应用的粘合剂在审
| 申请号： | 201680044261.0 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107849404A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | J·M·博格纳;D-T·赫塞 | 申请（专利权）人： | 艾利丹尼森公司 |
| 主分类号： | C09J7/30 | 分类号： | C09J7/30;C09J11/06;C09J11/04;C09J11/08;C09J175/04;C09J133/00;C09J121/00;C09J167/00;C09J183/04;B24B37/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 王永伟,赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了在化学机械平坦化(CMP)应用中的抛光垫中使用的粘合剂。所述粘合剂包括粘合剂组分并且显示出具体的性质。还描述了含有所述粘合剂的转移带、使用所述粘合剂的CMP垫、以及相关的使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平坦 应用 粘合剂 | ||
【主权项】：
用于CMP层叠垫的层间粘合剂，所述粘合剂包含：粘合剂组分；其中，所述粘合剂显示出(i)在从约25℃至约80℃的范围内的温度下大于105Pa的模量，以及(ii)在大于100℃的温度下小于105Pa的模量。
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