[发明专利]以范围为基础的实时扫描电子显微镜的非视觉分格器有效
| 申请号： | 201680045369.1 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107923856B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | H·罗伊;A·杰因;A·亚提;O·莫罗;A·罗布 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01Q30/02;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种用于识别例如SEM非视觉缺陷SNV等的非视觉缺陷的技术，所述技术包含：产生晶片的层的图像；使用分类器来评估所述图像的至少一个属性；及识别所述晶片的所述层上的所述非视觉缺陷。控制器可经配置以使用所述分类器来识别所述非视觉缺陷。此控制器可与例如扫描电子显微镜SEM的缺陷重检工具通信。 | ||
| 搜索关键词： | 范围 基础 实时 扫描 电子显微镜 视觉 分格器 | ||
【主权项】：
一种系统，其包括：缺陷重检工具，其中所述缺陷重检工具具有经配置以夹持晶片的载物台；及控制器，其经配置以与所述缺陷重检工具通信，其中所述控制器经配置以使用分类器来识别所述晶片的层上的非视觉缺陷。
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