[发明专利]利用基于目标的空中图像的变换的焦点计量和目标

摘要

本发明提供焦点计量方法和模块，其使用基于空中图像的变换以共享自多个目标导出的测量信息和/或设计针对指定兼容目标的额外目标，此实现依据改变的生产条件简单调整焦点目标。方法包括：将两个或两个以上焦点目标定位在每一晶片场中；进行目标的焦点测量；将焦点测量变换为针对每一场的单组结果；使用基于目标的空中图像的目标之间的变换；及自单组结果导出焦点结果；及可能使用指定目标的空中图像参数自指定目标设计焦点目标。

主权项

一种焦点计量方法，其包括：将两个或两个以上焦点目标定位在每一晶片场中，进行所述目标的焦点测量，使用基于所述目标的空中图像的所述目标之间的变换将所述焦点测量变换为针对每一场的单组结果，及自所述单组结果导出焦点结果。