[发明专利]包括通过螺杆泵馈给的喷射分配系统及相关方法

摘要

一种喷射分配系统包括具有流体腔室的分配器本体、阀元件以及用于将流体馈给到流体腔室中的螺杆泵。所述螺杆泵沿着其伸长长度传送多个分离的流体腔室，以在所述分配器本体的所述流体入口和所述流体腔室处产生并保持流入流体压力。因此，无论流体粘度的变化和所述喷射分配系统的操作速度的变化如何，在喷射分配循环中通过操作所述阀元件而产生的微滴可以限定流体的体积。另外，离开所述分配器本体的流体的速度分布可以更加恒定，以避免导致流体速度的变化，该流体速度的变化可能损伤流体粒子和/或在微滴飞向基底时使其旋转翻滚或爆花。

主权项

一种喷射系统，用于将流体的微滴分配到基底上，所述喷射系统包括：喷射分配器本体，所述喷射分配器本体包括：流体腔室；流体入口和分配出口，所述流体入口和所述分配出口与所述流体腔室连通；以及阀座，所述阀座在所述流体腔室中被限定在所述流体入口和所述分配出口之间；阀元件，所述阀元件延伸到所述流体腔室中；阀致动器，所述阀致动器与所述阀元件可操作地联接，用于使所述阀元件移动成与阀座接合和脱离，由此限定用于迫使微滴从所述分配出口喷出的喷射分配循环；和流体供应组件，所述流体供应组件与所述喷射分配器本体联接并且包括螺杆泵，所述螺杆泵将流体从流体源馈给到所述喷射分配器本体的流体入口。