[发明专利]扫描显微镜有效
| 申请号： | 201680046458.8 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107924048B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | H·古杰尔;F·诺伊加特;I·波姆 | 申请（专利权）人： | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 德国韦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扫描显微镜(20)，包括：设置在照射光路(26)中的物镜(48)，用于使照射光束(24)聚焦到样品(52)上；在照射光路(26)中设置在物镜(48)上游的扫描单元(38)，用于使照射光束(24)偏转，使得通过物镜(48)聚焦的照射光束(24)在样品(52)上实施扫描运动；和设置在检测光路(66)中的检测单元(58)，用于接收未通过扫描单元偏转的检测光束(54)。检测单元为了影响检测光束(54)的光谱而包含至少一个光谱选择构件(10)，该构件具有带有光谱边缘的作用面(12)，该作用面随着检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置而变化。所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中设置在物镜光瞳(50)的成像的位置处，或者倾斜于所述检测光路的光轴设置。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
扫描显微镜(20)，其包括：设置在照射光路(26)中的物镜(48)，该物镜用于使照射光束(24)聚焦到样品(52)上；在照射光路(26)中设置在物镜(48)上游的扫描单元(38)，用于使照射光束(24)偏转，使得通过物镜(48)聚焦的照射光束(24)在样品(52)上实施扫描运动；和设置在检测光路(66)中的检测单元(58)，该检测单元用于接收未通过扫描单元(38)偏转的检测光束(54)；其中，检测单元(58)为了影响检测光束(54)的光谱而包含至少一个光谱选择构件(10)，该构件具有带有光谱边缘的作用面(12)，该光谱边缘随着检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置而变化；其特征在于：所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中设置在物镜光瞳(50)的成像的位置处；或者所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中设置在如下位置处，在该位置处因照射光束(24)的扫描运动而出现的检测光束(54)入射到作用面(12)上的入射角的变化所导致的作用面的光谱边缘的变化，至少部分地由检测光束(54)入射到作用面(12)上的位置的变化引起的作用面(12)的光谱边缘的相反变化补偿。
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