[发明专利]用于降低光电子产率和/或二次电子产率的方法和装置有效
申请号: | 201680046529.4 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN108260349B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 阿明·阿卜杜勒凡德 | 申请(专利权)人: | 敦提大学 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/0622;B23K26/082;B23K26/352;B23K103/04;B23K103/10;B23K103/12;B23K103/14;B23K103/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李博 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
一种降低靶标(10)的表面的光电子产率(PEY)和/或二次电子产率(SEY)的方法,所述方法包括向靶标(10)的表面施加激光辐射以在表面上产生周期性结构排列,其中所述激光辐射包括包含一系列激光脉冲的脉冲激光辐射并且所述脉冲的功率密度在0.01TW/cm |
||
搜索关键词: | 用于 降低 光电子 二次电子 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种降低表面的光电子产率(PEY)和/或二次电子产率(SEY)的方法,所述方法包括:向所述表面施加激光辐射以在所述表面上产生周期性结构排列,其中所述激光辐射包括包含一系列激光脉冲的脉冲激光辐射并且所述脉冲的功率密度在0.01TW/cm2至3TW/cm2、任选0.1TW/cm2至3TW/cm2的范围内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于敦提大学,未经敦提大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201680046529.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。