[发明专利]使用图像的以模型为基础的计量

摘要

本文提出用于将存在于半导体晶片的所测量图像中的信息与所述所测量图像内的特定结构的额外测量进行组合的方法及系统。在一个方面中，基于所测量图像及每一图像内的特定结构的对应参考测量来训练以图像为基础的信号响应计量SRM模型。接着，使用所述经训练的以图像为基础的SRM模型来依据从其它晶片收集的所测量图像数据直接计算一或多个所关注参数的值。在另一方面中，基于所测量图像及由通过非成像测量技术做出的每一图像内的特定结构的测量产生的对应测量信号来训练测量信号合成模型。将从其它晶片收集的图像变换成与所述非成像测量技术相关联的合成测量信号，且采用以模型为基础的测量以基于所述合成信号来估计所关注参数的值。

主权项

一种系统，其包括：至少一个照明源，其经配置以照明位于一或多个实验设计DOE晶片的多个场处的多个DOE测量位点，其中每一DOE测量位点包含由至少一个所关注参数表征的至少一个结构的例子；至少一个成像检测器，其经配置以检测从所述多个DOE测量位点中的每一者成像的光且产生所述多个DOE测量位点中的每一者的图像；参考测量系统，其经配置以估计所述多个DOE测量位点中的每一者处的所述至少一个所关注参数的参考值；及计算系统，其经配置以：接收所述多个DOE测量位点中的每一者的所述图像及所述多个DOE测量位点中的每一者处的所述至少一个所关注参数的所述参考值；且基于所述多个DOE测量位点中的每一者的所述图像及所述多个DOE测量位点中的每一者处的所述至少一个所关注参数的所述对应参考值来训练以图像为基础的信号响应计量SRM模型，所述以图像为基础的SRM模型使包含所述至少一个结构的例子的测量位点的图像与所述至少一个结构的所述至少一个所关注参数的值相关。