[发明专利]辐射器模块以及辐射器模块的应用在审
| 申请号： | 201680048053.8 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107924854A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | J·韦伯;B·韦伯;F·迪尔 | 申请（专利权）人： | 贺利氏特种光源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 金林辉,吴鹏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种辐射器模块，其具有带有布置在辐射器平面中的第一辐射管的第一红外线辐射器和带有布置在所述辐射器平面中的第二辐射管的第二红外线辐射器。为了由此出发给出适用于照射具有反射表面的基质的、且设计成高的照射强度的、具有高的能效的辐射器模块，根据本发明提出，在第一辐射管和第二辐射管之间布置有套管，并且第一辐射管、第二辐射管和套管分别设有反射覆层。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射器 模块 以及 应用 | ||
【主权项】：
一种辐射器模块(104a；104b；200；350；450)，具有带有布置在辐射器平面(115)中的第一辐射管的第一红外线辐射器(109a；109b；109c；202a；202b；202c；202d；353a；353b；353c)和带有布置在所述辐射器平面(115)中的第二辐射管的第二红外线辐射器(109a；109b；109c；202a；202b；202c；202d；353a；353b；353c)，其特征在于，在所述第一辐射管和第二辐射管之间布置有套管(110a；110b；203a；203b；203c；354a；354b)，所述第一辐射管、所述第二辐射管和所述套管(110a；110b；203a；203b；203c；354a；354b)分别设有反射覆层(111；112；356a；356b；356c；357a；357b)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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