[发明专利]用于气体流量控制的方法和设备

摘要

一种用于控制气体的流量的设备，其包含可控制阀，其中，测量所述阀的位置和所述阀的上游的气体压力，并将其与第一查找表结合使用，以确定通过所述阀的气体的流速；以及所述可控制阀的上游的流量限制器，其中，测量流量限制器的温度以及流量限制器的上游和下游的气体压力，并将其与第二查找表结合使用，以确定通过流量限制器的气体的流速。

主权项

一种控制通过控制阀的气体的流速的方法，所述方法包括：生成将气体流量控制阀的上游的压力、所测量的所述阀的位置和流速联系起来的查找表；在所述气体流量控制阀的上游的压力以及用于根据所述查找表获得所确定的位置所需要的驱动信号的基础上，确立通过所述控制阀的流速；如果所述压力确实发生了变化，则继续使所述气体流量控制阀保持在所确定的位置上，从而随着所述压力的变化提供预期流速；使用所述气体流量控制阀的上游的流量传感器来确定所述流速；计算来自所述查找表的所述预期流速和通过所述流量传感器确定的流速之间的差异，使用所述差异来更新所述查找表，并且继续测量所述压力并对所述气体流量控制阀进行调整，以实现所述预期流速，以及如果所述差异超出预定值则发送警报。