[发明专利]用于指派集成电路布局中的群约束的系统和方法

摘要

提供了用于配置单元的各特征的群约束以用于多重图案化工艺的方法和装置。该装置确定：电路布局内的各特征，对这些特征中的至少一者的距离约束，基于这些距离约束对各特征的群约束，这些群约束定义了对这些特征中的每一者所可指派的群的限制。另外，该装置接收包括多个邻接单元的集成电路布局。该装置接着确定第二单元的群约束是否与第一单元的群约束相冲突，第二单元与第一单元邻接；并且基于第一单元的群约束以及基于与第一单元的群约束相冲突的第二单元的群约束来配置第二单元的群约束的子集。

主权项

1.一种将群约束指派到电路布局中的特征以用于多重图案化工艺的方法，包括：确定所述电路布局内的特征；确定对所述特征中的至少一个特征的距离约束；基于所述距离约束来确定对所述特征的群约束，所述群约束定义对所述特征中的每一特征所能够指派的群的限制；以及将所述群约束指派到所述特征。